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真空加热

应用

示例——真空条件下基材的加热

我们的二极管激光器与LASCON工艺控制器结合使用,是实现非接触式加热工艺的强力工具

客户问题与需求

某研究机构正在寻找一种在真空环境下高效加热基板的方法

Mergenthaler的解决方案

  • Mergenthaler 是激光基板加热组件和系统的知名供应商,其产品基于独特的二极管激光系统。 Mergenthaler 的激光加工头通过与激光束同轴布置的非接触式高速红外测温仪,可测量目标温度。该系统还包含通过视频摄像头对工艺过程进行同轴监控的功能
  • 我们提供典型温度范围为 100°C 至 2500°C 的高温计,涵盖多种量程,并可实现每秒 10,000 次的温度测量。 借助功能强大的LASCON Process Manager软件,用户可以编程设置复杂的温度曲线,并由闭环控制器执行。此外,还可以借助Mergenthaler TCP/IP命令手册创建自定义的软件图形用户界面(GUI)。您的个人创造力将得到充分支持

对于真空加热而言,激光器尤其是一个理想的组件:

  • 非接触式加热和非接触式温度控制确保真空环境不受污染 ——位于真空腔外的激光头通过玻璃窗对靶材进行加工
  • 加热速率和温度均高于传导加热,且可实现 几乎任意温度分布
  • 靶材与激光头的距离可达 500 毫米
  • 可变光斑几何形状 ,典型范围从 3x3毫米至15x15毫米
  • 采用特殊的斑点均质化和整形技术,将高斯激光束转换为扁平、均匀的正方形、矩形、六边形、八边形……以提高靶材表面的温度均匀性

现状

  • 越来越多的系统被应用于各种高要求的加热任务
  • 请向我们的设计团队咨询您的基板加热解决方案,并受益于我们30余年的激光技术经验